6 工位排气台案例

设备用途

本设备主要用于 X 光管的生产制备,要求具备超高真空抽气系统真空度高,烘烤温度均匀、热损失小、耗能低、操作维修方便等特点。

技术参数

本设备的主要技术指标如下：

a ． 结构形式： 2 个单腔室 3 工位结构，带立式升降的烘烤箱

b ．单个真空腔尺寸： φ160×400（L）mm，排气口间距 130mm。带 1 个 CF150 的闸板主阀， 1 个预抽阀和 1 个放气阀。

c ． 极限真空度： 9×10-6 Pa（24 小时），使用一个月以后极限真空 7×10-6 Pa

d ．压升率： <0.5Pa/h

..........

设备配置及说明

      该设备由腔体机架、烘箱加热系统、真空系统(含真空解除充气系统)、水冷系统、气 路系统、电控系统等六部分组成。 

腔体机架： 真空腔采用卫生级无缝管， 内壁镜面抛光, 表面喷砂亚光处理。机架采用碳钢型材焊接，门板采用不锈钢，外包铅，造型美观大方。

烘烤加热系统： 采用双层不锈钢内衬保温棉结构。 壁，加热均匀，保温效果好。

真空系统： 真空系统由机械干泵、分子泵、主阀、前级预抽阀、放气阀和真空管路等 组成。

测量控制系统： 真空测量系统低真空采用复合真空计。

真规管采用 ZJ-12 型超高真空热阴极电离规， 确保真空度测量准确性。

电器控制系统：

      真空系统泵和阀门控制均集中在触摸屏进 行控制。采集电流、电压、温度、气压、水压等数据， 集中在屏上显示。并设有多个系统 保护控制点，保证系统安全可靠运行。

甲方安装现场条件：

       1、电源：～10KVA、380V、三相、 50Hz；

       2、压缩空气源： ...........

       3、冷却循环水：........

质量保证

按照 ISO9001 质量体系认证要求，针对客户定制非标设备全制程导入质量控制计划,

从设计输入开始到设备制造全过程采用项目式管理。

成品出货质量控制：依据成品出货检验项目逐一对成品检验， 如（外观、尺寸），整机执行相关性能检测标准，并将检验结果记录与报告，检验完成后作好成品标识。详细的出货报告书、合格证、装箱清单、使用说明书及售后服务卡，建立详细的检验数据。

验收标准、方法

按本合同规定的配置 、 外观及第二条之技术指标 ， 达到即验收合格。

售后服务

       1、安装质量： 我方向使用方提供设备所需外围动力条件书面文件，并派人到现场配合进行设备就位、安装和外围动力条件施工验核。设备到使用方后， 由我方负责安装、调试，并按合同要求使设备达到规定的技术指标和功能要求。

       2、技术服务：我方派人安装、调试合格后， 配合使用方的技术人员进行工艺试验和调整设备工作状 态，遇到问题及时处理。